晶体衬底

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ZnO晶体衬底

产品详情

描述

氧化锌单晶体是通过水热法用铂金内胆生长起来的。从这些块状晶体中获得的2英寸大小的氧化锌晶片具有极其高的结晶度和纯度。整个晶片区域的电阻率高度均匀。退火之后,在晶片表面可以观察到台阶和平台结构。蚀坑密度减少到小于80 cm-2。这些结果表明2英寸的氧化锌晶圆适合宽禁带器件应用。带隙在3.4Ev附近,这使得它对于许多在光电方面的蓝色和紫色应用以及紫外的设备具有吸引力。


 

良好的结晶质量

良好的晶格匹配的氮化物

易刻蚀设备集成


 

半导体电路基板

氧化锌发光二极管

氧化锌薄膜


 

材料

ZnO

晶格取向

[0 0 0 -1] or [1 0 -1 0] < ±0.5°

平行

10

垂直

5ˊ

表面质量

10/5

波前畸变

λ/4 @632nm

表面平整度

λ/8 @632nm

通光孔径

>95%

倒棱

<0.1×45°

厚度/直径误差

±0.05 mm

最大尺寸

直径50×100mm

镀膜

AR/AR@940+1030HR@1030+HT@940+AR1030


 

材料类型

单晶体

晶体结构

六角的, a = b=3.252 Å, c = 5.313 Å  

分子量

81.47

折射率

no = 1.3836, ne = 1.3957 @0.405 µm  

反射损耗

5,1% @4,0 µm; 11,2% @0.12 µm  

密度 

5.7 g/cm3  

熔点  

1975°C    

热传导系数   

6 W/(m·K)

热膨胀

a: 6.5·10-6 /°C; C:3.7·10-6 / °C @20°C 

莫氏硬度

介电常数

C: 4.87; C: 5.45 @95 KHz -42 MHz 

水溶解度

no


 

方位

终端构型nm

厚度, nm

光传输

[0 0 0 -1]

5×5

0.5

 no = 1.3836,

 ne = 1.3957 

     @0.405 µm 

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

1

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

8×8

0.5

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

1

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

10×10

0.5

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

1

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

15×15

0.5

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

1

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

直径 25.4

0.5

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

1

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

直径 50.8

0.5

[1 0 -1 0]

[0 0 0 -1]

1

[1 0 -1 0] 


 

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